2015. 6. 30. 13:58
플라즈마 강도를 순간적으로 판단할 수 있는 플라즈마 인디케이터 개발 신제품신기술2015. 6. 30. 13:58
국립연구개발법인 신에너지산업기술종합개발기구(New Energy and Industrial Technology Development Organization, NEDO) 프로젝트의 일환으로 주식회사 사쿠라크레이패스는 플라즈마에 의해 변색되는 재료를 이용해 변색 정도의 차이에 따라 플라즈마의 불균일 요인을 시각적으로 순간적으로 판단할 수 있는 플라즈마 인디케이터(내열성 라벨형)를 개발했다.
이번에 개발한 인디케이터는 종래 유기재료로 구성됐던 변색재료를 새롭게 개발한 무기재료로 전환시켜 기재에 폴리이미드를 채용해 높은 내열성(200도)과 방출가스의 저감을 실현했다.
이 기술은 고온에서의 가공과 청정성이 요구되는 반도체 제조 프로세스에서 양산라인의 장치 가동률 향상, 장치간 차이 해소에 공헌할 것으로 예상됨에 따라 NEDO에서는 향후 반도체, LED, 기타 전자디바이스 분야의 제조장치 시장 이외에도 자동차, 의료기기 등 타분야의 제조장치 시장에서의 채용을 목표로 하고 있다.
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